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应用部件

真空设备和包装

镍基合金因其良好的高温强度和耐腐蚀性,在半导体制造过程中常用于制造真空设备、封装材料和热电偶等关键部件。

 

热处理和保护

在半导体器件的制造和热处理过程中,镍基合金用于制造加热元件、保护罩和坩埚,能够提供稳定的高温环境和化学惰性。

 
 

电子束离子注入(EBI)

镍基合金用于制造电子束离子注入设备中的样品支架和靶材,确保高精度的样品定位和稳定的工作环境。

 

光刻设备

在半导体光刻工艺中,镍基合金用于制造光刻机的部件和支架,能够抵抗化学品和高能量光束的侵蚀。

 
 

射频(RF)封装

在半导体射频器件的封装中,镍基合金常用于制造封装盒和引线,能够提供优异的电磁屏蔽性能和耐高温性。

 

高功率半导体器件

镍基合金在高功率半导体器件的散热器和接触材料中有应用,能够有效传导和散热电子元件产生的热量。

 
 

常用牌号

 
Inconel 600

具有良好的高温强度和耐腐蚀性,常用于制造半导体设备中的加热元件、真空设备和热电偶。

 
 
Inconel 625

因其优异的耐腐蚀性和高温性能,适用于半导体制造中的热处理设备、真空管道和化学处理设备。

 
 
Incoloy 825

具有良好的耐腐蚀性和高温强度,常用于制造半导体设备中的真空管道、加热元件和化学处理设备。

 
 
Hastelloy C-276

提供卓越的耐腐蚀性能和化学稳定性,常用于制造半导体设备中需要处理腐蚀性介质的部件。

 
 
Hastelloy C-22

在半导体工艺中表现出色,用于制造化学气相沉积(CVD)设备和反应器。

 

半导体

镍基合金的材料可靠性和长寿命有助于降低设备维护成本和生产停机时间,提高生产效率和产品质量。

 

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